Hallo, nach dem gefühlt 20sten Mal hat es jetzt funktioniert. Die Ursachen für die Fehlversuche waren die Kombination der beiden folgende Punkte:
1.
Das Löschen der Geräte in der Web-Oberfläche der HA-Instanz hat nicht gereicht. Die YAML Konfig Dateien wurden nur ins Archiv geschoben und nach der Neueinbindung der geflashten M5 wurden diese als schon vorhanden erkannt und die Konfig-Dateien wurden aus dem Archiv wieder verwendet und „aktiviert“. Ich musste im File-System die YAML-Dateien aus dem Archiv-Verzeichnis löschen. Danach konnte ich sie als komplette neue Geräte konfigurieren, aber trotzdem noch nicht drauf zugreifen und auch nicht updaten.
2.
Über meine FritzBox vergebe ich für die meisten meiner Gerät die IP-Adressen, so auch für die M5-Atoms. Durch die Neueinbindung der neu geflashten Geräte wurden diese unter anderem Namen ins WLAN eingebunden. Da die MAC-Adressen aber schon auf der FritBox im DHCP-Bereich schon konfiguriert/hinterlegt waren kam es hier zu einem Namens-/ MAC-Adressen-Konflikt. Es war also auch hier notwendig die alten Einträge zu löschen. Nach der Neueinbindung der M5 ins WLAN und der Einbindung in die HA-Instanz habe ich dann als letztes erst die „festen“ IP-Adressen den MAC-Adressen der M5-Gerät ddurchgeführt.
Diese zwei Punkte, in Verbindung mit den verlinkten Anleitungen, führte letztendlich zum Erfolg.
Danke für die Hilfen. 
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